MC-AN602C 英国 WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器详细介绍

 MC-AN602C 英国 WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器

MC-AN602C  气体质量流量控制器

• 规格                                                                  MC-AN602

• Full Scale Range (N2 Eqv)                              单气体30-200slm

• Control Valve Type 阀门类型                           常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

• Fitting 接头                                                      1/4" or 3/8"VCR兼容1/4"or3/8"Swagelok兼容

• Seals 密封                                                         橡胶 Viton

• Response Time 响应时间                                 ≤3.0Sec

• Accuracy ***性                                               ≤满量程2%

• Linearity 线性度                                                ≤ 满量程的±1%

• Repeatability 重复性                                        ≤ 满量程的±0.2%

• Differential Pressure 压差                                21 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率                                           Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围                                   满量程的2-***

• Max Operating Pressure 操作压力            50psi

• Proof Pressure 承受压力                                   值150psi

• Communication Type 通讯模式                       模拟0-5V / 4-20mA

• Input Power
  输入功率                                                           +15VDC ±2% at 50mA             -15VDC ±2% at 150mA

• Command Signal 控制信号                             0-5 VDC / 4-20 mA

• Output Signal 输出模拟信号                            0-5 VDC / 4-20 mA

• Power Consumption 功耗                               3.5W

• Temperature Range 温度范                             5-45 Deg C

• Materials 材                                                     316LSS,316SS,PTFE

• Weight 重量                                                     2.2kg

•  MC-AN602C 英国 WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器
  

       Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，是多种气体配套产品 的全球化公司，拥有自己的研发团队，掌握全球***的核心技术，专注于全球广泛的高科技领 域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同***工艺 。Warwiｃkr的产品包括***质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球 服务支持方案。为了将我们***的气体应用技术及方案带给更***生产应用市场，Warwick始终 致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。