MC-1602L英国WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器详细介绍

MC-1602L英国WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器

MC-1602L 气体质量流量控制器

• 规格

• MC-1602L

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 30-200SLM
  

• Control Valve Type 阀门类型

• 常闭式螺线管

• Fitting 接头

• 1/4"VCR兼容 or 3/8"Swagelok兼容

• Seals 密封

• 橡胶 Viton

• Response Time 响应时间

• 到达设***±2% 所需时间≤4Sec

• Accuracy ***性

• ≤满量程2%

• Linearity 线性度

• ≤ 满量程的±1%

• Repeatability 重复性

• ≤ 满量程的±0.2%

• Differential Pressure 压差

• 21 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范围

• 满量程的5-***

• Max Operating Pressure 操作压力

• 50psi

• Proof Pressure 承受压力

• 值150psi

• Communication Type 通讯模式

• 模拟0-5V

• Input Power
  输入功率

• +15VDC ±2% at 25mA
  -15VDC ±2% at 180mA

• Command Signal 控制信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Output Signal 输出模拟信号

• 模拟信号0-5 VDC

• Power Consumption 功耗

• 4.1W

• Temperature Range 温度范围

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,PTFE

• Weight 重量

• 2.2kg

MC-1602L英国WARWICK 气体质量流量计 气体质量流量控制器

      Warwick 创建于英国，是一家高速成长的科技公司，是多种气体配套产品 的全球化公司，拥有自己的研发团队，掌握全球***的核心技术，专注于全球广泛的高科技领 域的应用，其中包括半导体、太阳能、平板显示、数据存储、玻璃镀膜等不同行业不同***工艺 。Warwiｃkr的产品包括***质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球 服务支持方案。为了将我们***的气体应用技术及方案带给更***生产应用市场，Warwick始终 致力于为客户开发“生产工艺优化和低成本化”的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始 设备制造商（DEM）和所需用户（END-USER）。